防微振研究及應用
防微振研究及(ji)應用(yong)
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隨著產業技術向精密(mi)化和微(wei)細化的(de)發展，其對控制(zhi)微(wei)米(mi)級(ji)的(de)微(wei)小振(zhen)(zhen)動而采取防(fang)微(wei)振(zhen)(zhen)措施提出了(le)(le)更高的(de)要求。為(wei)達到(dao)預期的(de)防(fang)微(wei)振(zhen)(zhen)目(mu)標，從廠址的(de)宏觀選擇(ze)，場地的(de)測試，總圖布置(zhi)，工藝設備布置(zhi)，Tool的(de)要求和特點(dian)，結構(gou)方(fang)案，支持設備，基(ji)座平臺(tai)等(deng)方(fang)面都(dou)應進行防(fang)微(wei)振(zhen)(zhen)方(fang)面的(de)考量。世源公司已實(shi)施了(le)(le)多個項目(mu)的(de)從“結構(gou)防(fang)微(wei)振(zhen)(zhen)方(fang)案制(zhi)定”、“設備防(fang)微(wei)振(zhen)(zhen)機臺(tai)設計”到(dao)“整個防(fang)微(wei)振(zhen)(zhen)系統的(de)安(an)裝”的(de)全過程服(fu)務，達到(dao)良好效果，滿足(zu)工藝生產良品(pin)率的(de)需求。
IC/TFT-LCD廠房防微(wei)振設計平臺(tai)建設研究及(ji)應用
完成時間：2011.06
課(ke)題(ti)簡(jian)介：本項(xiang)目對(dui)以往IC/TFT—LCD項(xiang)目的結構(gou)特行進行總結，分(fen)析(xi)其剛度、動力特性(xing)等，并實(shi)(shi)地測量(liang)相應項(xiang)目的微振技術(shu)參數，最終提出針對(dui)性(xing)的結構(gou)設(she)(she)計(ji)方(fang)案(an)及(ji)精密設(she)(she)備基座平臺(tai)的方(fang)案(an)，完善“15240微振技術(shu)規格(ge)書”及(ji)其有關(guan)計(ji)算方(fang)法。通過研究使高科技廠房(fang)的防微振設(she)(she)計(ji)具有實(shi)(shi)用性(xing)和系統化。