超高世代TCT-LCD生產線設計技術
超高世代TFT-LCD生產線設計技術
世(shi)源科技工程(cheng)有限(xian)(xian)公司與中(zhong)國電子工程(cheng)設(she)計院有限(xian)(xian)公司及中(zhong)建一局(ju)集團(tuan)建設(she)發展有限(xian)(xian)公司共同完成“超高世(shi)代(dai)（10代(dai)以(yi)上(shang)）TFT-LCD生產(chan)線設(she)計關鍵技術研究與產(chan)業化”研究成果。
研究成果形成多項10代以上TFT-LCD生產線設計的關鍵(jian)技術創新：
創新點1：提出(chu)了(le)具(ju)有完全自主知識產權(quan)的超(chao)高世代TFT-LCD顯示器件生產線(xian)工藝仿真及組線(xian)技術
? ? ? ? 優化了工藝生(sheng)產流(liu)程、設備布局、縮短物(wu)流(liu)傳(chuan)送距離；
? ? ? ? 使(shi)生(sheng)產線從(cong)點亮到量產僅需6個月，產品良率迅速(su)完(wan)成穩定在(zai)92%以(yi)上，創造平(ping)板顯示產業速(su)度和良率水平(ping)。
? ? ? ? 平(ping)均(jun)節(jie)約項(xiang)目建設安(an)裝（不含工藝設備(bei)）17%的投(tou)資；
? ? ? ? 節(jie)省TFT-LCD工廠中潔凈室面(mian)積20%。
創新點2：首創建立了“高世代(dai)TFT-LCD生產線納米級防(fang)微振控制技術體系” ?
?? ? ? 提出了基于“原位(wei)測試+仿真分析+實驗(yan)驗(yan)證”的微振動(dong)控制設計方法；
?? ? ? 自(zi)研場地(di)微振(zhen)(zhen)動(dong)(dong)測試數據庫，微振(zhen)(zhen)動(dong)(dong)分析(xi)模型。
?? ? ? 提出了精密儀(yi)器設備的微振動控(kong)制方法，發明了多(duo)種型號(hao)防微振基臺。
創新(xin)點3：超大面積潔凈(jing)環(huan)境控制技術+超高潔凈(jing)度微環(huan)境控制技術
?? ? ? 建立(li)了(le)超(chao)大潔凈廠房CFD氣流仿真模擬(ni)技術；
?? ? ? 研發(fa)了凈化空調系統(tong)溫水淋水加(jia)濕空氣處(chu)理技(ji)術；
?? ? ? 保障超(chao)大(da)面積（40萬㎡）潔凈室的超(chao)高溫(wen)濕度(du)精度(du)（溫(wen)度(du)控制精度(du)23℃±1℃、相對濕度(du)控制精度(du)55%±3%）控制要(yao)求。
創(chuang)新點4：TFT-LCD廠房(fang)極端超(chao)長(chang)的(de)鋼筋混(hun)凝土(tu)結構裂縫(feng)控制(zhi)技術
?? ? ? 通過(guo)選材(cai)、設計及(ji)施(shi)工控(kong)制的(de)綜合措施(shi)，解決了鋼(gang)筋混(hun)凝土(tu)框(kuang)排架(jia)廠(chang)房的(de)極端超(chao)長（550m）無伸縮(suo)縫結構的(de)裂縫控(kong)制技術。
?? ? ? 突破了《混(hun)凝土結構設計規范(fan)》關于室內伸縮縫最大間距(ju)55m的(de)要求。
創新點5：研(yan)發(fa)了高精度、高品(pin)質超純(chun)水制備系統(tong)
?? ? ? 首(shou)創制(zhi)訂(ding)出適用第10.5代TFT-LCD的(de)超(chao)純水(shui)水(shui)質(zhi)指標標準，并準確(que)定義各(ge)指標參數。
?? ? ? 研(yan)發10.5代TFT-LCD生(sheng)產線超純水最佳(jia)處(chu)理工藝(yi)流程；
?? ? ? 提出超純水制備(bei)的(de)梯級處理系統，實現(xian)節(jie)能超過20%；
?? ? ? 工(gong)藝冷卻循環水系(xi)統中確定閉式系(xi)統，節能(neng)超過(guo)35%；
?? ? ? 首創(chuang)提(ti)出(chu)超純水30%~40%循環附加量(liang)的(de)最佳實踐(jian)；
?? ? ? 提出超(chao)純(chun)水供水管網(wang)必須設置三管式同程管網(wang)的要求。
創新點6：提出“物化(hua)(hua)+水解酸化(hua)(hua)+生物處理(li)+RO”組合方式的電子含(han)氟/堿/酸廢水處理(li)技術
?? ? ? 提出(chu)“物化+水解(jie)酸化+生(sheng)物處理+RO”組合(he)方(fang)式的(de)電子含(han)氟/堿/酸/有機(ji)廢水處理技術。
?? ? ? 通過設置不同的(de)處置流(liu)程，控制藥(yao)劑(ji)劑(ji)量等(deng)方式，實(shi)現TFT-LCD廢水的(de)清污分流(liu)；
?? ? ? 回收(shou)水系統按照TOC濃(nong)度，采(cai)用(yong)多種(zhong)處理手(shou)段，回用(yong)于超純水系統或中(zhong)水系統，綜合回用(yong)率可達到(dao)70%。
創新點7：基(ji)于產品工藝流程的產品制造和(he)工廠建造高(gao)效節能技術
?? ? ? 4次光刻技術(shu)，可以(yi)縮短工藝(yi)時(shi)間(jian)，降低生產成本(ben)，減少原材料消耗，并使設(she)備(bei)利(li)用率顯著提高(gao)，減少設(she)備(bei)投資，或在設(she)備(bei)配置(zhi)相同的情況下提高(gao)產能(neng)約20%。
?? ? ? 噴墨(mo)打(da)印(yin)技術，與傳統的旋轉涂布技術相比(bi)，節省60%以上的材(cai)料，同時減少(shao)工藝(yi)步驟和節省能耗。
?? ? ? 用(yong)純水替代異丙醇(chun)清洗技(ji)術(shu)，有效減少化學(xue)品使用(yong)及污(wu)染(ran)物(wu)的排放；
?? ? ? 傾(qing)斜式清洗技術，使(shi)積(ji)存在基(ji)板表(biao)面的藥液(ye)量降低40%，所排放的廢(fei)水濃度和純水使(shi)用量都(dou)相應降低。